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氣浮減震平臺,氣浮防震臺,ZYY-ZD系列氣浮主動減震平臺,針對掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等超精密設備而研發,采用型氣浮減振器進行基礎隔振,即使在安裝現場環境有不規律的沖擊振動時,也能確保持續的振動穩定性,甄耀言科技自研的主動減振系統,實現6自由度主動減振。前饋控制技術與反饋控制相結合,在低頻范圍提供出色的隔振效果,可選電控自動調平系統或機械調平系統,自動調整水平,一鍵啟動減振。
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